Екип на Lam Research представи първата в индустрията технология за твърдотелно плазмено ецване. Технологията се основава на метод за прецизен контрол на плазмата – електрически заредено състояние на материята, използвано при производството на полупроводници. DirectDrive обещава безпрецедентна прецизност на ниво от няколко ангстрьома и генерира плазма с чувствителност 100 пъти по-висока от тази на аналозите си. Това води до значително по-малко дефекти в моделирането при производството на полупроводници.

Разработката на DirectDrive отнема на компанията около 20 години, съобщава IE. През 2006 г. инженерът от Калифорнийския университет Патрик Прибил измисля начин за по-добър контрол на плазмата в процеса на ецване на полупроводниците. Той разработва устройство за бързо превключване на радиочестотната енергия, която насочва плазмата, благодарение на което се постига много по-прецизен контрол на ецването. За да изпробва ефективността на концепцията, Прибил сглобява прототип на система за радиочестотно превключване в собствената си кухня.

Въпреки обещаващия характер на подхода обаче, компаниите не са готови да го приемат. Научните основи не бяха достатъчно развити, а превръщането на кухненския прототип в надеждна промишлена технология би отнело твърде много години работа. Прибил обаче не се отказва. В сътрудничество с физика Уолтър Хекелман той получава финансиране и намира оборудване, за да продължи работата по системата за превключване на радиочестотите.

В продължение на още десет години Прибил и екипът му работят с лазери и самостоятелно конструирано оборудване. Те измерват поведението на йоните под въздействието на плазмените импулси и отбелязват промените в техните свойства (свързани с движението и плътността). По време на експериментите изследователите установили, че бързите импулси осигуряват много по-добър контрол върху поведението на плазмата, отколкото постоянното въздействие на радиочестотите. Новият метод променя нивото на мощност на плазмата само за 50 микросекунди, т.е. десетки хиляди пъти по-бързо от преди.

„DirectDrive, първият в индустрията твърдотелен плазмен генератор, произвежда плазма с чувствителност 100 пъти по-висока от предишните източници, което води до по-малко дефекти при формирането на моделите в дълбокия ултравиолет“, се казва в прессъобщение на компанията.