Немската компания Zeiss Semiconductor Manufacturing Technology (Zeiss SMT) пусна в експлоатация първата нова производствена сграда в комплекса в Оберкохен, Германия, чието строителство започна през 2022 година. Разширяването на предприятието е от значение за ASML, тъй като именно капацитетът на Zeiss за производство на оптика ограничава обемите на производството на EUV скенери.

В годишния отчет на ASML за 2025 година специализираното подразделение Carl Zeiss SMT е посочено като изключителен доставчик на лещи, огледала, осветителни системи, колектори и други критично важни оптични компоненти за EUV скенерите. Компанията също така предупреждава, че продължителното спиране на производството в Zeiss на практика ще направи невъзможно производството на нейните литографски системи. На този фон покупките от Zeiss SMT и нейните дъщерни дружества продължават да нарастват – от 3,33 млрд. евро през 2023 година до 3,95 млрд. евро през 2024 година и 4,41 млрд. евро през 2025 година.

Необходимостта от разширяване на производството се обяснява и с плановете на самата ASML, чийто финансов директор Роджър Дасен по-рано съобщи, че портфейлът от поръчки за Low-NA EUV-системи с доставка през 2027 година вече е практически изчерпан. Производителят възнамерява да увеличи производството с около 30% в сравнение с очакваните 65 инсталации през текущата година, като едновременно с това съкрати цикъла на сглобяване на всеки скенер от около 22 на 15-16 седмици. Разглежда се и възможността за разширяване на производствените мощности през 2028 година.

Отбелязва се, че разширяването на производствените площи на Zeiss не означава незабавен ръст на производството на оптика, тъй като производството на компоненти за High-NA EUV остава сложен процес: една проекционна система се състои от над 40 000 детайла и тежи около 12 тона, а осветителната система включва още около 25 000 компонента. Отделни огледала се изработват в продължение на няколко месеца, след което се подлагат на проверка в специална вакуумна камера с размери 5 × 10 метра, състояща се от над 100 000 детайла и с тегло над 150 тона.

Стратегическото значение на Zeiss се потвърждава и от мащаба на финансовата подкрепа от страна на ASML. Към края на 2025 гoдина обемът на отпуснатите на Zeiss SMT заеми достигна 1,91 млрд. евро, а авансовите плащания за бъдещи доставки на оптични компоненти възлизаха на още 1,19 млрд. евро. Същевременно Zeiss SMT продължава да разширява собствената си производствена инфраструктура и към края на финансовата година, приключила на 30 септември 2025 година приходите на подразделението са нараснали с 23% (до 5,055 млрд. евро). Освен разширяването на производствената база в Оберкохен, компанията строи нов завод във Вецлар, разширява чистите си помещения в Росдорф и откри иновационен център в Южна Корея.